Представьте инспектора Гаджета, только вместо шляпы — искусственный алмаз, а вместо «гаечек» — квантовая физика: смешно, но работает. В мире 3D‑чипов, где кристаллы укладывают слоями, как многослойный торт, дефекты умеют прятаться особенно изобретательно. Разглядеть их, не разрушив изделие, — задача на грани магии. Стартап EuQlid утверждает, что эту магию можно приручить.
Секрет — в NV‑центрах в алмазе: крошечные дефекты в решётке, которые ведут себя как сверхчуткие компасы. Они «слушают» микромагнитные и тепловые шорохи, которые оставляют токи и «горячие точки» в чипе. Система EuQlid под названием QuMRI превращает эти шорохи в карту: где-то ток течёт неровно, где-то межсоединение устало, а где-то под слоем спряталась пустота или зарождается электромиграция.
Почему это важно именно для 3D‑структур? В стопках из кристаллов, через-слоевых переходах и ультрамелких бампах традиционные методы — рентген, ультразвук, электронные пучки — часто либо грубоваты, либо ограничены по контрасту и глубине. Квантовый сенсор, наоборот, «снимает отпечатки» токов и температур без контакта и без дозы облучения, позволяя прицельно заглянуть на нужный уровень стека. Это похоже на тепловизор и магнитометр одновременно, только в масштабе микрометров.
Практика — ещё интереснее. Производитель может прогнать тестовый ток по шине питания и сразу увидеть, где прячется повышенное сопротивление. Инженер по надёжности — выявить ранние «горячие точки» под нагрузкой. Технолог — заметить следы неполной металлизации или деламинации до того, как они превратятся в массовый брак. Всё это — без распила, что экономит недели и не заставляет жертвовать дорогими образцами.
Конечно, квантовая магия не заменяет весь арсенал контроля — рентген и FIB ещё долго будут соседями по лаборатории. Но там, где нужен нежный, глубинный и по‑слойный взгляд, алмазный сенсор EuQlid звучит как своевременный инструмент. Если 3D‑чипы — будущее, то им однозначно пригодится такое «алмазное зрение» в настоящем.